Busselli in ceramica resistenti alle alte temperature per temperature di processo di 1200 gradi C nell'industria dei LED

Ugelli ceramici resistenti alle alte temperature per temperature di processo a 1200°C nell'industria LED

Sviluppato appositamente per i processi di produzione LED, questo prodotto è fabbricato utilizzando nitruro di silicio (Si₃N₄) ad alta purezza al 99,8% tramite sinterizzazione a pressione di gas di precisione. Caratterizzato da pulizia ultra-elevata, resistenza alle alte temperature e resistenza alla corrosione per soddisfare i severi requisiti delle apparecchiature MOCVD.

Applicazioni nella produzione di LED

• Apparecchiature MOCVD: Distribuzione precisa della sorgente MO e del gas NH₃

• Crescita epitassiale: Iniezione uniforme di gas nelle camere di reazione

• Fabbricazione di chip: Sistemi di erogazione di gas protettivi

• Processo di confezionamento: Atomizzazione a spruzzo di fosforo

• Apparecchiature di test: Controllo del gas per l'ispezione ottica

Vantaggi per l'industria LED

✓ Pulizia ultra-elevata: Contenuto di ioni metallici <1ppm
✓ Resistenza alle alte temperature: Resiste a temperature di processo di 1200°C✓ Zero contaminazione da gas: Nessuna emissione di particolato
✓ Controllo preciso del flusso: Precisione del flusso ±1%
✓ Durata estesa: Resiste a oltre 5000 cicli termici
Parametri specifici per LED

Parametro

Preparazione del materiale:

1. Polvere nano (D50≤0,3µm)

   • Macinazione a sfere senza polvere (camera bianca di classe 10)

   • Formatura e sinterizzazione:

2. Pressatura isostatica (200MPa)

   • Sinterizzazione ultra-pulita (ambiente di classe 100)

   • Post-elaborazione:

3. Pulizia al plasma (decontaminazione della superficie)

   • Pulizia ad ultrasuoni con acqua DI

   • Confezionamento:

4. Confezionamento sottovuoto doppio

   • Sacchetti puliti ISO Classe 4

   • Linee guida per l'uso

⚠ Installazione: Richiesta operazione in camera bianca di classe 100

⚠ Controllo del gas: Utilizzare gas ad alta purezza al 99,999%
⚠ Gestione della temperatura: Velocità di riscaldamento ≤5℃/min
⚠ Manutenzione: Test di tenuta all'elio ogni 500 ore
Servizi specializzati

Garanzia estesa: 18 mesi

• Test di pulizia: Test di emissione di particelle gratuito

• Risposta rapida: Supporto tecnico entro 12 ore

• Ottimizzazione del processo: Simulazione del campo di flusso del gas

• FAQ

D: Come garantire la purezza dell'erogazione della sorgente MO?

R: Triplice protezione:
① Passivazione superficiale Si
② Confezionamento pulito di classe 100
③ Pulizia al plasma pre-installazione
D: Gestione dell'intasamento degli ugelli?

R: Consigliato:
• Pulizia ad ultrasuoni da 200 W + acqua DI
• Nessuna pulizia meccanica con aste
• Servizio di pulizia professionale disponibile
D: Compatibilità con diversi strati epitassiali?

R: Opzioni personalizzabili:
Strutture a matrice multi-foro

• Progettazioni a dimensione del foro graduale

• Configurazioni ad angolo speciale

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